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27.01.2006 - Optisches Schichtdickenmessgerät GSM 1100 für PVD Systeme vorgestelltMit dem optischen Meßsystem GSM 1100 steht Nutzern von Beschichtungssystemen ein komfortables Werkzeug für die in-situ Prozessüberwachung und Endpunktbestimmung zur Verfügung. Das GSM 1100 ist in den Varianten 'Standard' und 'Breitband' verfügbar. Beide Ausführungen messen während des Beschichtungsprozesses die spektrale Charakteristik dünner optischer Schichten. Je nach Schichtanforderungen können unterschiedliche Kriterien für die Erkennung des Prozessendes angewendet werden. Die Grundausführungen arbeiten in einem Wellenlängenbereich von 400 bis 1100 nm. Der Messbereich kann durch Verwendung einer optionalen zusätzlichen Lichtquelle erweitert werden (Wellenlänge von 200 bis 1100 nm oder 400 bis 2000 nm). Während die Standardausführung auf einer vordefinierten Wellenlänge arbeitet, kann die Breitbandversion zusätzlich Spektren über den gesamten Messbereich aufnehmen. Beide Varianten sind in die KHAN-Prozesssteuerung eingebunden. Offene Schnittstellen ermöglichen zusätzlich eine Integration in kundenspezifische Umgebungen. Weitere Informationen über das GSM 1100 erhalten Sie auf der Website der Evatec Process Systems Ltd.:
Evatec Thinfilm Technology ist im Raum Deutschland, Österreich, Tschechische Republik und Slovakei alleiniger Vertriebs- und Servicepartner für die legendäre BAK-Anlagenfamilie, die unter den Namen der Firmen Balzers und später Unaxis bekannt geworden ist. Seit 1. Juni 2004 wird die BAK-Familie durch die Evatec Process Systems Ltd. in Flums/Schweiz gefertigt und weiterentwickelt. Ansprechpartner: |
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