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16.12.2005 - Kompaktes BAK Beschichtungssystem für Forschung und Prozessentwicklung vorgestelltMit der Vakuumbeschichtungsanlage BAK 501 stellt die Evatec Process Systems Ltd. ein neues Bedampfungssystem für Forschung und Entwicklung vor. Die BAK 501 ist das neueste Mitglied der BAK-Familie. In der 500 x 500 x 500 mm großen Prozesskammer werden dieselben bewährten Komponenten eingesetzt, wie sie auch in den größeren Produktionssystemen zur Verfügung stehen. Hierdurch ist später ein einfacher Prozesstransfer möglich. Medienverteiler, Turbopumpsystem, Stromversorgungen und Prozessteuerung sind platzsparend in den Anlagenrahmen integriert. Durch das kompakte Layout benötigt die BAK 501 nur eine geringe Standfläche. Die BAK 501 kann mit den Elektronenstrahlquellen ESQ 212 und ESQ 110, verschiedenen Mehrlochtiegeln und Schiffchenverdampfern, einem Drehantrieb für verschiedene Substrathalter, einem QSK 621 Quarzmesskopf sowie den zugehörigen Stromversorgungen und Steuergeräten ausgerüstet werden. Zur Steuerung wird die für Prozessentwicklung optimierte Software KHAN XP BASIC eingesetzt. Evatec Thinfilm Technology ist im Raum Deutschland, Österreich, Tschechische Republik und Slovakei alleiniger Vertriebs- und Servicepartner für die legendäre BAK-Anlagenfamilie, die unter den Namen der Firmen Balzers und später Unaxis bekannt geworden ist. Seit 1. Juni 2004 wird die BAK-Familie durch die Evatec Process Systems Ltd. in Flums/Schweiz gefertigt und weiterentwickelt. Ansprechpartner: |
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