BAK 641 Aufdampfanlage - Labor- und Produktionssystem für geringe Durchsätze

Das BAK 641 Beschichtungssystem ist der kleinere Bruder der BAK 761. Die Aufdampfanlage kann über all dort eingesetzt werden, wo nur ein geringer Durchsatz erforderlich ist. Sie eignet sich gleichermaßen als Labor- und Produktionssystem.

BAK 641 Vorderansicht mit Reinraumverkleidung	BAK 641 mit geöffneter Prozesskammertüre	BAK 641 - Seitenansicht mit integrierten Schaltschränken

Die Anlage kann mit den Elektronenstrahlkanonen ESQ 110 oder ESQ 212 ausgerüstet werden. Optional lassen sich für die Substratvorreinigung verschiedene Ionenquellen einsetzen. Die Anlagensteuerung besitzt einen KHAN-Controller der neuesten Generation. Durch das kompakte Design kann die BAK 641 in einem Stück transportiert und innerhalb von 2 Tagen installiert werden.

Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Herrn Eichert.