BAK 501 - Laborsystem für Forschung und Prozessentwicklung

Die BAK 501 ist die kleinste Anlage in der Reihe der BAK Bedampfungssysteme. Sie wurde speziell für die Prozessentwicklung und den Einsatz in der Forschung entwickelt.

In der 500 x 500 x 500 mm großen Prozesskammer werden dieselben bewährten Komponenten eingesetzt, wie sie auch in den größeren Produktionssystemen zur Verfügung stehen. Hierdurch ist später ein einfacher Prozesstransfer möglich. Alle Systemkomponenten sind platzsparend in den Anlagenrahmen integriert. Durch das kompakte Layout benötigt die BAK 501 nur eine geringe Standfläche.

BAK 501 Prozesskammer mit Benutzerschnittstelle	KHAN XP BASIC Bedienoberfläche	BAK 501 - Medienversorgung

Die BAK 501 kann mit den Elektronenstrahlquellen ESQ 212 und ESQ 110, verschiedenen Mehrlochtiegeln und Schiffchenverdampfern, einem Drehantrieb für verschiedene Substrathalter, einem QSK 621 Quarzmesskopf sowie den zugehörigen Stromversorgungen und Steuergeräten ausgerüstet werden. Zur Steuerung wird die für Prozessentwicklung optimierte Software KHAN XP BASIC eingesetzt.

Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Herrn Eichert.