Aufdampfanlage BAK 1400

Das BAK 1400 Beschichtungssystem ist der größere Bruder der BAK 1101. Die Aufdampfanlage kann über all dort eingesetzt werden, wo ein hoher Durchsatz erforderlich ist. Sie eignet sich als Produktionssystem für die Beschichtung von 6-8'' Wafern.

BAK 1400 Prozesskammertüre	Graphische Benutzerschnittstelle KHAN XP	Bedienfeld mit graphischer Benutzerschnittstelle

Hohe Zuverlässigkeit, exzellente Schichthomogenität, Reproduzierbarkeit und eine Vielzahl von Verdampferoptionen sind nur einige Eigenschaften, die das Beschichtungssystem charakterisieren.

Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Herrn Eichert.